白光干涉儀介紹
采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準(zhǔn)確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計的微納米測量系統(tǒng)。
1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器：實(shí)現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
