尼康上市支持半間距40nm工藝的自動宏觀檢查裝置
2007-12-06 14:24:33
尼康將于2007年12月15日上市支持300mm晶圓（半間距為40nm）最新半導體量產(chǎn)線的自動宏觀檢查裝置“AMI－3400”。該檢測裝置應用了波動光學原理?？梢酝ㄟ^全面、高速地檢測晶圓的剖面形狀（圖案剖面）變化，將檢測信息反饋給包括曝光裝置在內(nèi)的主要生產(chǎn)裝置，來提高工藝管理效率。
“AMI系列”的特點是能夠以與掃描電子顯微鏡（SEM）相當?shù)撵`敏度對所有晶圓進行全面高速檢查，從而檢測出曝光裝置焦點變化引起的圖案剖面變化。新產(chǎn)品AMI－3400作為用于半間距40nm量產(chǎn)工藝的檢查裝置，能夠?qū)?jié)點（Node）檢測需求并提高檢測靈敏度，在對300mm晶圓進行全面檢查時，處理能力達到了160片/小時以上。由于能夠?qū)Σ煌ば虻暮细衿贩秶槿〕鰪蛿?shù)個獨立的圖像特征值進行學習，來抑制制造工藝變化的影響，不降低檢測靈敏度便可完成檢測。該裝置1億7000萬日元起價（價格因配置而異），預計上市第一年度銷售25臺。
另外，尼康在2007年12月5～7日于幕張MESSE會展中心（千葉市）舉行的“SEMICON·JAPAN 2007”上對該檢查裝置進行了展板展示。
