一、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀產(chǎn)品介紹
Zeus是高精度的光學(xué)三維形貌檢測平臺，采用先進的直驅(qū)閉環(huán)運動控制，搭載多種光學(xué)檢測頭完美實現(xiàn)三維輪廓高速掃描測量。Zeus平臺具備完整的軟件功能，可在現(xiàn)代外觀下進行直觀的操作，輕松完成三維形貌分析，截面輪廓分析、GD&T尺寸分析、粗糙度分析、2D圖像尺寸測量和分析等功能。
江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀能滿足不同類型產(chǎn)品尺寸和外觀檢測的需求，提供全棧式測量方案。
二、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀產(chǎn)品特點
1、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀實現(xiàn)測量軟件、控制器等核心技術(shù)自主可控。
2、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀擁有國外最高等級測量設(shè)備的精度，但成本顯著降低。
3、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀的綜合測量精度達到0.8μm。
4、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計使得江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀在各種應(yīng)用環(huán)境，包括在線，現(xiàn)場和實驗室，均能夠精準(zhǔn)測量。
5、專注于高要求和快速的測量需求，江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀適用于在線檢測、非接觸測量場景實現(xiàn)高精度、高速測量。
6、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀提供多種擴展分析工具可選，運行穩(wěn)定，免維護
7、ZeusXY運動平臺行程高達400 mm x400 mm并且可選大理石底座平臺。
8、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀的橫向分辨率<1μm，高傾斜角±45，最大高度測量范圍可達4mm，最大高度分辨能力高達1nm，傳感器最高可達到36萬測點/秒亞微米及分辨率。
三、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀應(yīng)用領(lǐng)域
江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀面向3C行業(yè)，可滿足BGA、納米制程、引線鍵合、芯片貼合、晶片加工、微結(jié)構(gòu)等測量需求。
四、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀測量項目
江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測量儀測量項目包括：輪廓、三維面粗糙度、厚度、體積、幾何尺寸、直線度、截面面積、二維線粗糙度、磨損、平面度、面積等。
